半导体行业术语缩写词典,专业词汇汇总与解析总结

以下是一些半导体行业常用的术语缩写及其含义:
1. "IC" - Integrated Circuit,集成电路 2. "DRAM" - Dynamic Random Access Memory,动态随机存取存储器 3. "SRAM" - Static Random Access Memory,静态随机存取存储器 4. "NAND" - NAND Flash,NAND型闪存 5. "Flash" - Flash Memory,闪存 6. "CMOS" - Complementary Metal-Oxide-Semiconductor,互补金属氧化物半导体 7. "CPU" - Central Processing Unit,中央处理器 8. "GPU" - Graphics Processing Unit,图形处理器 9. "FPGA" - Field-Programmable Gate Array,现场可编程门阵列 10. "ASIC" - Application-Specific Integrated Circuit,专用集成电路 11. "EDA" - Electronic Design Automation,电子设计自动化 12. "TSMC" - Taiwan Semiconductor Manufacturing Company,台湾半导体制造公司 13. "UMC" - United Microelectronics Corporation,联华电子 14. "SMIC" - Semiconductor Manufacturing International Corporation,中芯国际 15. "SOI" - Silicon On Insulator,绝缘体上硅 16. "FinFET" - Fin Field-Effect Transistor,鳍式场效应晶体管 17. "3D NAND" - Three-dimensional NAND,三维NAND闪存 18. "MEMS" -

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作为半导体行业新人来说,最痛苦的莫过于各种缩写词术语了,有的缩写词一样但是会有不同的解释。


这里作者给大家整理了部分术语词典,后面会按照更新顺序一一分享出来。


废话不多说,直接开始,如有遗漏,欢迎大家在评论区或者私信补充,作者会在后面单开一篇来补充:




06




F-开头缩写



缩写

英文全称

中文解释

技术说明

FA

Failure Analysis

失效分析

FIB切片定位缺陷,分辨率±5nm,定位时间<2小时

FAB

Fabrication

晶圆制造

全流程生产(光刻/刻蚀/沉积),洁净度Class 1

FDC

Fault Detection and Classification

故障检测与分类

AI分析等离子体光谱,预测设备异常(提前>4小时)

FD-SOI

Fully Depleted SOI

全耗尽绝缘体上硅

超薄硅层(<10nm),漏电流降低100倍,用于低功耗芯片

FEM

Focus Energy Matrix

焦距能量矩阵

光刻窗口优化方法(曝光能量/焦距组合)

FEOL

Front End Of Line

前道工艺

晶体管制造(栅极/源漏),包含离子注入/退火

FFT

Fast Fourier Transform

快速傅里叶变换

信号处理核心算法(用于EBI缺陷识别)

FG

Floating Gate

浮栅

闪存存储单元核心结构,电子保持时间>10年

FIB

Focused Ion Beam

聚焦离子束

纳米级切割/成像(精度±2nm),用于电路编辑和失效分析

FIFO

First In First Out

先进先出

晶圆队列管理策略,减少Q-time超限风险

FinFET

Fin Field-Effect Transistor

鳍式场效应晶体管

3D沟道结构(鳍片),22nm-5nm节点主流技术,抑制短沟道效应

FLASH

Flash Memory

闪存

NAND/ NOR架构,3D NAND堆叠层数>200

FM

Ferroelectric Memory

铁电存储器

极化翻转速度<1ns,耐久性>10¹⁰次

FMEA

Failure Mode and Effects Analysis

失效模式与影响分析

工艺风险评估工具(如等离子体不稳定导致刻蚀不均)

FN

Fowler-Nordheim

福勒-诺德海姆隧穿

电子隧穿栅氧层机制(用于EEPROM编程)

FOUP

Front-Opening Unified Pod

前开式晶圆传送盒

Class 1洁净度容器,存储/传送300mm晶圆

FOWLP

Fan-Out Wafer Level Packaging

扇出型晶圆级封装

芯片嵌入环氧树脂→RDL布线→植球,I/O密度>500/mm²

FPD

Flat Panel Display

平板显示

LTPS背板工艺,迁移率>100cm²/V·s

FPY

First Pass Yield

首次通过良率

晶圆流片首次测试良率,先进节点目标>95%

FRAM

Ferroelectric RAM

铁电随机存储器

同FM,读写能耗<1pJ/bit

FSA

Full Sheet Annealing

整片退火

快速热退火(RTA)变体,温度均匀性±1℃@1100℃

FSI

Full Slice Imaging

全切片成像

3D芯片无损检测(分辨率<200nm)

FSM

Finite State Machine

有限状态机

设备控制系统核心逻辑(如光刻机顺序控制)

FSP

Fused Silica Plate

熔融石英板

光刻掩模基材,热膨胀系数<0.01ppm/℃

FT

Final Test

成品测试

芯片封装后电性测试,覆盖率>99%

FTIR

Fourier Transform Infrared Spectroscopy

傅里叶变换红外光谱

分析薄膜成分(如SiO₂中OH基含量),精度±0.1%

FTS

Fast Thermal Spike

快速热尖峰退火

毫秒级退火(>1300℃),激活掺杂原子并抑制扩散

FVM

Free Volume Model

自由体积模型

预测Low-k材料机械强度(与孔隙率关联)

FWHM

Full Width at Half Maximum

半高宽

光谱/峰形分析参数(如离子注入能量分布)

FZ

Float Zone

悬浮区熔法

超高纯单晶硅制备(杂质<0.1ppb),用于功率器件

FBE

Fixed Beam Exposure

固定束曝光

电子束光刻模式,吞吐量>5片/天

FIC

Film Integrated Circuit

薄膜集成电路

柔性电子工艺,基底厚度<10μm

FKM

Fluoroelastomer

氟橡胶

真空密封材料,耐等离子体腐蚀>1000小时

FL

Field Layer

场区层

LOCOS隔离技术核心,厚度>500nm

FLA

Flash Lamp Annealing

闪光灯退火

毫秒级热处理(>1000℃),消除离子注入损伤

FMEA

Failure Mode and Effects Analysis

失效模式与影响分析

工艺风险评估工具(如等离子体不稳定导致刻蚀不均)

FOM

Figure of Merit

品质因数

器件综合指标(如功率放大器PAE>60%)

FPD

Flat Panel Display

平板显示

LTPS背板工艺,迁移率>100cm²/V·s

FQC

Final Quality Control

最终质量控制

出货前全检(包含EL测试/外观检查)

FRS

Free Reticle Storage

掩模版自由存储系统

AMHS子系统,存储容量>5000片,取放时间<30秒

FSE

Fast Secondary Electron

快速二次电子

SEM成像模式,表面敏感性高

FSP

Focused Spot Profiler

聚焦点轮廓仪

测量光刻机焦平面,精度±0.01μm

FST

Film Stress Test

薄膜应力测试

晶圆曲率法测量应力,精度±10MPa

FSW

Front Side Wafer

正面晶圆

器件制造面(与背面工艺BSW区分)

FTIR

Fourier Transform Infrared Spectroscopy

傅里叶变换红外光谱

分析薄膜成分(如SiO₂中OH基含量),精度±0.1%

FVM

Free Volume Model

自由体积模型

预测Low-k材料机械强度(与孔隙率关联)



07

G-开头缩写


缩写

英文全称

中文解释

技术说明

GAA

Gate-All-Around

全环绕栅极

纳米线/纳米片沟道(Nanosheet),取代FinFET,用于3nm及以下节点

GaAs

Gallium Arsenide

砷化镓

高频材料(电子迁移率>5000 cm²/V·s),用于5G射频芯片

GaN

Gallium Nitride

氮化镓

宽禁带半导体(3.4eV),耐压>650V,用于快充/5G基站

GBD

Grain Boundary Defect

晶界缺陷

多晶硅栅极关键问题,导致漏电增加,需退火优化

GCI

Gas Cluster Ion

气体团簇离子

表面平坦化技术,团簇尺寸>1000原子,粗糙度<0.2nm

GDS

Gas Delivery System

气体输送系统

VMB(气体阀箱)核心,流量精度±0.5% sccm

Ge

Germanium

高迁移率沟道材料(空穴迁移率>1900 cm²/V·s),用于PMOS优化

GEM

Generic Equipment Model

通用设备模型

SECS/GEM协议实现设备自动化控制

GIDL

Gate-Induced Drain Leakage

栅致漏极泄漏

高电场下栅漏重叠区载流子隧穿,导致待机电流增加

GIXRD

Grazing Incidence X-ray Diffraction

掠入射X射线衍射

超薄膜分析(厚度<5nm),分辨率0.01nm

GLS

Gate Last Structure

后栅极结构

High-k金属栅集成工艺,减少热预算

GM

Gain Margin

增益裕度

工艺控制稳定性指标(如CMP压力反馈系统)

GMR

Giant Magneto Resistance

巨磁阻

磁阻变化率>100%,用于高灵敏度磁传感器

GOI

Gate Oxide Integrity

栅氧完整性

TDDB测试关键参数,失效电场>15MV/cm

GPC

Gas Phase Cleaning

气相清洗

HF/IPA混合蒸汽清洗,替代湿法工艺

GPM

Giga Patterning Machine

千兆级图形化设备

多电子束直写系统,吞吐量>10片/小时(5nm节点)

GR

Gettering Region

吸杂区

晶圆背面掺磷/损伤层,捕获金属杂质(效率>99%)

GS

Ground Shield

接地屏蔽

射频器件抗干扰设计,隔离度>60dB

GST

GeSbTe

锗锑碲相变材料

相变存储器核心,电阻比>1000,编程速度<10ns

GTO

Gate Turn-Off Thyristor

门极可关断晶闸管

功率器件,关断时间<2μs,耐压>6kV

GUI

Graphical User Interface

图形用户界面

设备操作软件交互系统

GVM

Gas Vapor Mixture

气体蒸汽混合

超临界清洗技术(如CO₂/H₂O),去除纳米级污染物

GW

Global Wafer

环球晶圆

硅片供应商品牌(300mm晶圆市占率>15%)

GZO

Gallium Zinc Oxide

镓锌氧化物

透明导电薄膜,电阻率<10⁻³ Ω·cm,用于显示电极

GAA-CFET

Gate-All-Around CFET

全环绕互补场效应管

NMOS/PMOS垂直集成,密度再提升2倍,1nm节点候选技术



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