以下是一些半导体行业常用的术语缩写及其含义:
1. "IC" - Integrated Circuit,集成电路
2. "DRAM" - Dynamic Random Access Memory,动态随机存取存储器
3. "SRAM" - Static Random Access Memory,静态随机存取存储器
4. "NAND" - NAND Flash,NAND型闪存
5. "Flash" - Flash Memory,闪存
6. "CMOS" - Complementary Metal-Oxide-Semiconductor,互补金属氧化物半导体
7. "CPU" - Central Processing Unit,中央处理器
8. "GPU" - Graphics Processing Unit,图形处理器
9. "FPGA" - Field-Programmable Gate Array,现场可编程门阵列
10. "ASIC" - Application-Specific Integrated Circuit,专用集成电路
11. "EDA" - Electronic Design Automation,电子设计自动化
12. "TSMC" - Taiwan Semiconductor Manufacturing Company,台湾半导体制造公司
13. "UMC" - United Microelectronics Corporation,联华电子
14. "SMIC" - Semiconductor Manufacturing International Corporation,中芯国际
15. "SOI" - Silicon On Insulator,绝缘体上硅
16. "FinFET" - Fin Field-Effect Transistor,鳍式场效应晶体管
17. "3D NAND" - Three-dimensional NAND,三维NAND闪存
18. "MEMS" -
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作为半导体行业新人来说,最痛苦的莫过于各种缩写词术语了,有的缩写词一样但是会有不同的解释。这里作者给大家整理了部分术语词典,后面会按照更新顺序一一分享出来。
废话不多说,直接开始,如有遗漏,欢迎大家在评论区或者私信补充,作者会在后面单开一篇来补充:
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F-开头缩写
缩写 | 英文全称 | 中文解释 | 技术说明 |
FA | Failure Analysis | 失效分析 | FIB切片定位缺陷,分辨率±5nm,定位时间<2小时 |
FAB | Fabrication | 晶圆制造 | 全流程生产(光刻/刻蚀/沉积),洁净度Class 1 |
FDC | Fault Detection and Classification | 故障检测与分类 | AI分析等离子体光谱,预测设备异常(提前>4小时) |
FD-SOI | Fully Depleted SOI | 全耗尽绝缘体上硅 | 超薄硅层(<10nm),漏电流降低100倍,用于低功耗芯片 |
FEM | Focus Energy Matrix | 焦距能量矩阵 | 光刻窗口优化方法(曝光能量/焦距组合) |
FEOL | Front End Of Line | 前道工艺 | 晶体管制造(栅极/源漏),包含离子注入/退火 |
FFT | Fast Fourier Transform | 快速傅里叶变换 | 信号处理核心算法(用于EBI缺陷识别) |
FG | Floating Gate | 浮栅 | 闪存存储单元核心结构,电子保持时间>10年 |
FIB | Focused Ion Beam | 聚焦离子束 | 纳米级切割/成像(精度±2nm),用于电路编辑和失效分析 |
FIFO | First In First Out | 先进先出 | 晶圆队列管理策略,减少Q-time超限风险 |
FinFET | Fin Field-Effect Transistor | 鳍式场效应晶体管 | 3D沟道结构(鳍片),22nm-5nm节点主流技术,抑制短沟道效应 |
FLASH | Flash Memory | 闪存 | NAND/ NOR架构,3D NAND堆叠层数>200 |
FM | Ferroelectric Memory | 铁电存储器 | 极化翻转速度<1ns,耐久性>10¹⁰次 |
FMEA | Failure Mode and Effects Analysis | 失效模式与影响分析 | 工艺风险评估工具(如等离子体不稳定导致刻蚀不均) |
FN | Fowler-Nordheim | 福勒-诺德海姆隧穿 | 电子隧穿栅氧层机制(用于EEPROM编程) |
FOUP | Front-Opening Unified Pod | 前开式晶圆传送盒 | Class 1洁净度容器,存储/传送300mm晶圆 |
FOWLP | Fan-Out Wafer Level Packaging | 扇出型晶圆级封装 | 芯片嵌入环氧树脂→RDL布线→植球,I/O密度>500/mm² |
FPD | Flat Panel Display | 平板显示 | LTPS背板工艺,迁移率>100cm²/V·s |
FPY | First Pass Yield | 首次通过良率 | 晶圆流片首次测试良率,先进节点目标>95% |
FRAM | Ferroelectric RAM | 铁电随机存储器 | 同FM,读写能耗<1pJ/bit |
FSA | Full Sheet Annealing | 整片退火 | 快速热退火(RTA)变体,温度均匀性±1℃@1100℃ |
FSI | Full Slice Imaging | 全切片成像 | 3D芯片无损检测(分辨率<200nm) |
FSM | Finite State Machine | 有限状态机 | 设备控制系统核心逻辑(如光刻机顺序控制) |
FSP | Fused Silica Plate | 熔融石英板 | 光刻掩模基材,热膨胀系数<0.01ppm/℃ |
FT | Final Test | 成品测试 | 芯片封装后电性测试,覆盖率>99% |
FTIR | Fourier Transform Infrared Spectroscopy | 傅里叶变换红外光谱 | 分析薄膜成分(如SiO₂中OH基含量),精度±0.1% |
FTS | Fast Thermal Spike | 快速热尖峰退火 | 毫秒级退火(>1300℃),激活掺杂原子并抑制扩散 |
FVM | Free Volume Model | 自由体积模型 | 预测Low-k材料机械强度(与孔隙率关联) |
FWHM | Full Width at Half Maximum | 半高宽 | 光谱/峰形分析参数(如离子注入能量分布) |
FZ | Float Zone | 悬浮区熔法 | 超高纯单晶硅制备(杂质<0.1ppb),用于功率器件 |
FBE | Fixed Beam Exposure | 固定束曝光 | 电子束光刻模式,吞吐量>5片/天 |
FIC | Film Integrated Circuit | 薄膜集成电路 | 柔性电子工艺,基底厚度<10μm |
FKM | Fluoroelastomer | 氟橡胶 | 真空密封材料,耐等离子体腐蚀>1000小时 |
FL | Field Layer | 场区层 | LOCOS隔离技术核心,厚度>500nm |
FLA | Flash Lamp Annealing | 闪光灯退火 | 毫秒级热处理(>1000℃),消除离子注入损伤 |
FMEA | Failure Mode and Effects Analysis | 失效模式与影响分析 | 工艺风险评估工具(如等离子体不稳定导致刻蚀不均) |
FOM | Figure of Merit | 品质因数 | 器件综合指标(如功率放大器PAE>60%) |
FPD | Flat Panel Display | 平板显示 | LTPS背板工艺,迁移率>100cm²/V·s |
FQC | Final Quality Control | 最终质量控制 | 出货前全检(包含EL测试/外观检查) |
FRS | Free Reticle Storage | 掩模版自由存储系统 | AMHS子系统,存储容量>5000片,取放时间<30秒 |
FSE | Fast Secondary Electron | 快速二次电子 | SEM成像模式,表面敏感性高 |
FSP | Focused Spot Profiler | 聚焦点轮廓仪 | 测量光刻机焦平面,精度±0.01μm |
FST | Film Stress Test | 薄膜应力测试 | 晶圆曲率法测量应力,精度±10MPa |
FSW | Front Side Wafer | 正面晶圆 | 器件制造面(与背面工艺BSW区分) |
FTIR | Fourier Transform Infrared Spectroscopy | 傅里叶变换红外光谱 | 分析薄膜成分(如SiO₂中OH基含量),精度±0.1% |
FVM | Free Volume Model | 自由体积模型 | 预测Low-k材料机械强度(与孔隙率关联) |
缩写 | 英文全称 | 中文解释 | 技术说明 |
GAA | Gate-All-Around | 全环绕栅极 | 纳米线/纳米片沟道(Nanosheet),取代FinFET,用于3nm及以下节点 |
GaAs | Gallium Arsenide | 砷化镓 | 高频材料(电子迁移率>5000 cm²/V·s),用于5G射频芯片 |
GaN | Gallium Nitride | 氮化镓 | 宽禁带半导体(3.4eV),耐压>650V,用于快充/5G基站 |
GBD | Grain Boundary Defect | 晶界缺陷 | 多晶硅栅极关键问题,导致漏电增加,需退火优化 |
GCI | Gas Cluster Ion | 气体团簇离子 | 表面平坦化技术,团簇尺寸>1000原子,粗糙度<0.2nm |
GDS | Gas Delivery System | 气体输送系统 | VMB(气体阀箱)核心,流量精度±0.5% sccm |
Ge | Germanium | 锗 | 高迁移率沟道材料(空穴迁移率>1900 cm²/V·s),用于PMOS优化 |
GEM | Generic Equipment Model | 通用设备模型 | SECS/GEM协议实现设备自动化控制 |
GIDL | Gate-Induced Drain Leakage | 栅致漏极泄漏 | 高电场下栅漏重叠区载流子隧穿,导致待机电流增加 |
GIXRD | Grazing Incidence X-ray Diffraction | 掠入射X射线衍射 | 超薄膜分析(厚度<5nm),分辨率0.01nm |
GLS | Gate Last Structure | 后栅极结构 | High-k金属栅集成工艺,减少热预算 |
GM | Gain Margin | 增益裕度 | 工艺控制稳定性指标(如CMP压力反馈系统) |
GMR | Giant Magneto Resistance | 巨磁阻 | 磁阻变化率>100%,用于高灵敏度磁传感器 |
GOI | Gate Oxide Integrity | 栅氧完整性 | TDDB测试关键参数,失效电场>15MV/cm |
GPC | Gas Phase Cleaning | 气相清洗 | HF/IPA混合蒸汽清洗,替代湿法工艺 |
GPM | Giga Patterning Machine | 千兆级图形化设备 | 多电子束直写系统,吞吐量>10片/小时(5nm节点) |
GR | Gettering Region | 吸杂区 | 晶圆背面掺磷/损伤层,捕获金属杂质(效率>99%) |
GS | Ground Shield | 接地屏蔽 | 射频器件抗干扰设计,隔离度>60dB |
GST | GeSbTe | 锗锑碲相变材料 | 相变存储器核心,电阻比>1000,编程速度<10ns |
GTO | Gate Turn-Off Thyristor | 门极可关断晶闸管 | 功率器件,关断时间<2μs,耐压>6kV |
GUI | Graphical User Interface | 图形用户界面 | 设备操作软件交互系统 |
GVM | Gas Vapor Mixture | 气体蒸汽混合 | 超临界清洗技术(如CO₂/H₂O),去除纳米级污染物 |
GW | Global Wafer | 环球晶圆 | 硅片供应商品牌(300mm晶圆市占率>15%) |
GZO | Gallium Zinc Oxide | 镓锌氧化物 | 透明导电薄膜,电阻率<10⁻³ Ω·cm,用于显示电极 |
GAA-CFET | Gate-All-Around CFET | 全环绕互补场效应管 | NMOS/PMOS垂直集成,密度再提升2倍,1nm节点候选技术 |
